主要特征
l 橋架固定，工作臺移動的固定橋式結(jié)構(gòu)，為整機提供了更穩(wěn)定可靠的精度基礎(chǔ)，并確保高速運行時，振動對精度的影響最小
l 柔性同步帶系統(tǒng)，兼顧了柔性嚙合與剛性軸向傳動的優(yōu)點，確保高加速度時定位精度，從而提高運動的平穩(wěn)性
l 陶瓷Z軸、全花崗巖結(jié)構(gòu)，為計量室環(huán)境下的測量提供了穩(wěn)定的高精度
l Z向采用了可調(diào)式氣動平衡設(shè)計，提高了機器的動態(tài)性能，提升Z軸安全性
l 標配溫度傳感器，自動補償由于溫度變化而引起的誤差
l Y向采用整體式燕尾導(dǎo)軌，提高了機器的精度和重復(fù)性
l 中心驅(qū)動系統(tǒng)減少偏擺和扭轉(zhuǎn)，Y向光柵安裝于工作臺的中央，阿貝誤差小
l 機器框架采用花崗巖材料構(gòu)成，厚重且穩(wěn)定，顯著提高了整機的剛性，并有效地減少了振動的影響
l 采用HEXAGON高分辨率金質(zhì)光柵，其熱膨脹系數(shù)獲得PTB認證
規(guī)格型號與技術(shù)指標:
| 型號 | Rumba686 | Rumba8106 | Rumba10128 | |
| 行程（mm） | X軸 | 600 | 800 | 1000 |
| Y軸 | 800 | 1000 | 1200 | |
| Z軸 | 600 | 600 | 800 | |
| 空間尺寸（mm） | Dx | 1036 | 1236 | 1436 |
| 平臺（mm） | Ph | 350 | 350 | 350 |
| Py | 1800 | 2000 | 2200 | |
| 支撐（mm） | Sx | 740 | 870 | 1000 |
| Sy1 | 480 | 530 | 580 | |
| Sy2 | 640 | 720 | 790 | |
| 外形尺寸（mm） | Lx | 1766 | 1976 | 2176 |
| Ly | 2005 | 2205 | 2405 | |
| Lz | 3086 | 3086 | 3086 | |
| 承重（kg） | 400 | 400 | 600 | |
| 機器重量（kg） | 4276 | 4980 | 5637 | |
| MPEe（μm） | 1.4+L/450 | 1.5+L/350 | 1.7+L/350 | |
| MPEp（μm） | 1.8 | 1.8 | 1.8 | |
| 光柵尺分辨率（μm） | 0.039 | |||
| 空間移動速度（mm/s） | 520 | |||
| 空間移動加速度(mm/s2) | 1039 | |||
| 流量/供氣壓力 | | |||
注：工作環(huán)境為溫度（20±1）℃, 濕度為25%-75%
