主要特征:
采用L型移動橋式，由兩到三個高精度等高塊穩(wěn)固支撐Y向槽型導軌，左立柱與橫梁、滑架、鞍座共同組成移動橋，提高了運動質心，減少了阿貝誤差
u X軸和Z軸均采用超精加工及經過表面硬質陽極化處理的航空鋁合金
Y軸采用一體化槽型精密花崗石導軌u
u Z軸采用專利的可調式氣動平衡設計，采用柔性懸掛系統，避免了軸向運動和傳動系統之間的干涉問題，提高了測量機的精度和長期穩(wěn)定性
u 各運動軸均采用直流伺服驅動+增強型同步帶，確保運動的平穩(wěn)和準確定位
三軸均采用預載荷空氣軸承，運動更平穩(wěn)，導軌永不受磨損u
u 三軸均采用高精度歐洲進口光柵尺，系統分辨率可達0.078um；同時采用一端固定，一端自由伸縮的方式安裝，減少了光柵尺的變形，保證在溫度變化時的線性伸縮
u 采用?？怂箍禐?/span>Function Plus專業(yè)打造的IDC-II控制系統，21項誤差空間修正技術和自動調諧功能，保證了大型機器的動態(tài)性能和測量精度
u 測量機三軸都配置溫度傳感器，實時監(jiān)控溫度變化，自動補償由于溫度變化而引起的誤差
軟件為業(yè)界標桿的PC-DMIS BASIC (/PC-DMISu PREMIUM)，功能強大，易學高效
規(guī)格型號與技術指標：
| | | 800 | 1000 | |||
| 機器型號 | | F10128 | F121510 | F122010 | F122510 | F12310 |
| 行程（mm） | X | 1000 | 1200 | 1200 | 1200 | 1200 |
| Y | 1200 | 1500 | 2000 | 2500 | 3000 | |
| Z | 800 | 1000 | 1000 | 1000 | 1000 | |
| 測量空間（mm） | Dx | 1100 | 1300 | 1300 | 1300 | 1300 |
| Dy | 1960 | 2340 | 2840 | 3340 | 3840 | |
| Dz | 950 | 1150 | 1150 | 1150 | 1150 | |
| Dx1 | 153 | 173 | 173 | 173 | 173 | |
| Dy1 | 250 | 280 | 280 | 280 | 280 | |
| 花崗巖平臺螺紋孔尺寸（mm） | M1 | 133 | 156 | 156 | 156 | 156 |
| M2 | 105 | 120 | 120 | 120 | 120 | |
| Mx | 250 | 300 | 300 | 300 | 300 | |
| My | 250 | 300 | 300 | 300 | 300 | |
| 外形尺寸（mm） | L | 2370 | 2820 | 3320 | 3820 | 4320 |
| W | 1694 | 1980 | 2100 | 2100 | 2100 | |
| H | 3150 | 3460 | 3750 | 3750 | 3750 | |
| 承重（kg） | | 1200 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 |
| 機器重量(kg) | | 4000 | 5300 | 8500 | 10500 | 12500 |
| MPEe(μm) | | 4.0+L/300 | 5.0*L/300 | 5.0*L/300 | 7.0*L/300 | 7.0*L/300 |
| MPEp(μm) | | 4.5 | 5.5 | 5.5 | 5.5 | 5.5 |
| 光柵尺分辨率（μm） | | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 | 0.4 |
| 空間移動速度（mm/s） | | 200 | 200 | 200 | 200 | 200 |
| 空間移動加速度（mm/ s2） | | 450 | 450 | 450 | 450 | 450 |
| 流量/供氣壓力 | | 150 NI/min,0.45Mpa | 150 NI/min,0.45Mpa | 150 NI/min,0.45Mpa | 150 NI/min,0.45Mpa | 150 NI/min,0.45Mpa |
注：工作環(huán)境為溫度（20±2）℃, 濕度為45%-75%
